國儀量子超高分辨場發射掃描電子顯微鏡-掃描電鏡SEM4000Pro
SEM4000超高分辨場發射掃描電子顯微鏡是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計,束流大且連續可調,在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢。支持低真空模式,可直接觀察導電性弱或不導電樣品。標配的光學導航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。
掃描電子顯微鏡產品特點
02 分辨率高,30 kV下優于0.9 nm的極限分辨率
03 三級磁透鏡設計,束流可調范圍大,最大支持 200 nA 的分析束流
04 標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06 標配的光學導航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松
掃描電子顯微鏡應用案例
掃描電子顯微鏡產品參數
關鍵參數 | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa |
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
加速電壓 | 200 V ~ 30 kV |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x |
電子槍類型 | 肖特基熱場發射電子槍 |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
低真空模式 | 最大180 Pa |
攝像頭 | 雙攝像頭 |
(光學導航+樣品倉內監控) |
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm |
T: -10°~+70°,R: 360° |
探測器和擴展 | 標配 | 旁側二次電子探測器(ETD) |
低真空二次電子探測器(LVD) |
插入式背散射電子探測器(BSED) |
選配 | 能譜儀(EDS) |
背散射衍射(EBSD) |
插入式掃描透射探測器(STEM) |
樣品交換倉 |
軌跡球&旋鈕控制板 |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |