簡要描述:國儀量子場發射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。先進的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。
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國儀量子場發射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro
產品介紹
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。
電子槍類型 高亮度肖特基場發射電子槍
加速電壓 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
產品特點
分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像
高壓隧道技術 (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉,有效的降低系統像差,提升分辨能力
電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
規格參數
關鍵參數 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
加速電壓 | 20V~30 kV | |
放大倍率 | 1~2,500,000x | |
電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
攝像頭 | 雙攝像頭 (光學導航+樣品倉內監控) | |
樣品臺行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
探測器 和擴展 | 標配 | 鏡筒內電子探測器 旁側二次電子探測器(ETD) |
選配 | 插入式背散射電子探測器(BSED) 插入式掃描透射探測器(STEM) 能譜儀(EDS) 背散射衍射(EBSD) 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 | |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows | |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
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